羅茨真空泵的結構和原理與羅茨鼓風機相似，工作時其吸氣口與被抽真空容器或真空系統主抽泵相接。這種真空泵的轉子與轉子之間、轉子與泵殼之間互不接觸，間隙一般為0.1-0.8毫米;不需要用油潤滑。轉子型線有圓弧線、漸開線和擺線等。漸開線轉子泵的容積利用率高，加工精度易于保證，故轉子型線多用漸開線型。羅茨真空泵的轉速可高達3450-4100轉/分;抽氣速率為30-10000升/秒;極限真空:單級為6.5×10-2帕，雙級為1×10-3帕。

　　羅茨真空泵抽吸率和前級泵抽吸率的相關性在于羅茨真空泵的高容積效率和允許壓差。容積效率低，羅茨風機組的有效抽吸速度顯著降低。當羅茨真空泵壓差超過允許的大壓差時，壓縮功能將導致轉子過熱、膨脹和固定。因為泵殼容易加熱周圍環境，所以它仍然不太熱。

　　羅茨真空泵允許的容許壓力在40-100百帕范圍內。在高壓范圍內，允許的容許壓力稍高。由于位移，轉子的冷卻得到改善。隨著壓差的增加，所需的能量也會增加。

　　羅茨真空泵和前級泵的吸氣速度有什么關系？

　　如果在羅茨真空泵，出口的管道上安裝一個特殊的氣體冷卻器，允許的大壓差將會增加。冷卻氣體的逆流是為了將轉子的溫度保持在規定的范圍內。在真空和高真空范圍內，吸氣速度比大于10/1。當進氣壓力變化明顯或前壓力變化較慢時，壓縮比會降低，因此變速比大于5/1。

　　當羅茨真空泵在高壓下啟動時，壓力下降得更快，達到規定的壓力。啟動時，它超過了允許的大壓差。然而，在短期負荷下，羅茨真空泵的電機一般沒有問題。

　　當入口壓力很低或前級泵的氣鎮閥工作時，通常使用二級前級泵。否則羅茨真空泵要求的前壓力難以達到，前泵在此壓力下的吸入速度太低。高壓縮比會降低容積效率。

　　當泵入口壓力在粗略真空范圍內時，這是一個大的允許壓差，成為一個重要因素。

　　當入口壓力為1500帕時，羅茨泵與前級泵泵的吸入速度比為6/1;當入口壓力為7500帕時，吸入速度比為28/1。在大致真空范圍內，羅茨泵和前級泵泵的吸入速度比需要根據情況確定，但通常相對較小，容積效率相當好。