光學行業真空鍍膜設備如何進行保養：

光學真空鍍膜設備主要由真空鍍膜機室、真空抽氣機組限及電柜（控制電柜、電子槍電樞）組成，其

廣泛應用于微電子、光學成膜、民用裝飾、表面工程等領域。光學真空鍍膜設備在防止油污染和縮短

工作周期等方面具有的性能。

光學真空鍍膜設備工作原理是在高真空狀態下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當的溫度，

材料受熱后蒸發成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發源至被蒸發基片距離大，蒸發出來的蒸汽分子向

四處直射，碰到基片就沉積在基片表面形成臘層。

精密光學真空鍍膜設備在保養的時候有哪些保養方面的措施，下面的內容中我們就來了解。

一、定期更換擴散泵油

真空鍍膜機擴散泵油使用一段時間，約二個月兩班：，因在長期高溫環境，雖然較高真空時才啟動擴

散泵，但仍殘留氧氣及其它成份使之與擴散泵油起反應，擴散泵油在高溫下也可能產生裂解，使其品

質下降，而延長抽氣時間。在我們認為時間延長得太多時，應予更換。

二、真空泵

真空鍍膜機機械泵油、維持泵油在使用二個月，油質會發生變化。因油可能抽入水分、雜質及其它原

因，而使用油粘性變差，真空下降，故需要更換。如為新設備，在使用頭半個月即應更換，因在磨合

期，油含磨合鐵粉較多，會加劇磨損。

三、清潔衛生

定期將真空鍍膜設備及其周圍環境衛生搞好，常保持設備內外清潔，將真空鍍膜設備周圍環境整理有

條，有一個好的工作環境，以保安全。